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가변 커패시턴스(VC) MEMS

가변 정전용량(VC) 가속도계는 뛰어난 측정 정확도와 견고한 패키징을 갖추고 있어 열악한 환경에서도 안정적으로 작동합니다. 이 고품질 센서는 내장형 MEMS 감지 소자를 탑재하고 있으며, 0Hz까지의 저주파 응답, 정상 상태 선형 가속도 및 저주파 동적 현상을 측정하는 데 사용할 수 있습니다.

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단축

단축형 MEMS 유형의 압전 가속도계는 한 방향으로만 측정합니다.

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삼축

3축 MEMS형 압전 가속도계는 x, y, z 세 방향의 가속도를 측정합니다.

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6자유도

6자유도(6-DoF) MEMS 타입 압전식 가속도계는 각 축 방향의 병진 운동(translation)과 각 축 기준의 회전 운동(rotation)을 포함한 6개 방향을 측정합니다.

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가변 커패시턴스(VC) MEMS

단축

삼축

6자유도

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