静電アクチュエータ

静電アクチュエータは、コンデンサマイクロホンの圧力応答をシミュレートします。振動する静電気力がマイクロホンのダイアフラムの前に加わり、結果としてマイクロホンの応答が得られます。100Hz～200 kHzの周波数範囲を掃引して振動する静電気力を加えることで、圧力応答をテストできます。